Produk
Kartrid Filter Serbuk Stainless Steel 5 Mikron Dengan Antarmuka VCR 1/2".
Ukuran: φ40*196.3mm
Filter presisi: 5 mikron
Antarmuka: VCR1/2"
Kartrid filter bubuk baja tahan karat dengan antarmuka VCR 1/2" adalah komponen penting dalam manufaktur semikonduktor, yang dirancang khusus untuk sistem distribusi gas dengan kemurnian tinggi. Kartrid filter ini menggunakan teknologi sintering bubuk logam canggih untuk mencapai filtrasi yang presisi, secara efektif menangkap partikel sekecil 5 mikron. Hal ini memastikan pengiriman gas proses yang sangat bersih, yang penting untuk menjaga integritas proses fabrikasi semikonduktor yang sensitif. Antarmuka VCR 1/2" menyediakan -logam anti bocor-ke-segel logam, memenuhi persyaratan ketat lingkungan semikonduktor di mana pengotor gas sekecil apa pun dapat menyebabkan kerusakan signifikan pada perangkat mikroelektronik. Konstruksi kokohnya dari baja tahan karat-tahan korosi menjamin ketahanan dan-keandalan jangka panjang dalam kondisi ekstrem.
Dalam aplikasi semikonduktor, kartrid filter ini memainkan peran penting dalam melindungi peralatan hilir seperti pengontrol aliran massa dan katup presisi dari kontaminasi partikulat. Dengan berintegrasi secara lancar ke dalam-saluran gas dengan kemurnian tinggi, mereka menyederhanakan pemasangan dan pemeliharaan sekaligus meminimalkan waktu henti sistem. Kombinasi efisiensi filtrasi yang tinggi, ketahanan kimia yang luar biasa, dan penyegelan yang andal menjadikannya sangat diperlukan untuk memastikan kemurnian gas yang konsisten dan efisiensi operasional di fasilitas produksi semikonduktor yang canggih.
Spesifikasi Produk

Bahan: bubuk 316L
Ukuran: φ40*196.3mm
Filter presisi: 5 mikron
Antarmuka: VCR1/2"
Teknis: Sintering
Fitur Produk

1. Kemurnian Ultra Tinggi dan Retensi Partikel
- Struktur baja tahan karat yang disinter (biasanya 316L) menyediakan media filtrasi yang seluruhnya terbuat dari logam, tanpa bahan pengikat, perekat, atau residu organik.
- Mampu menahan partikel sub‑mikron hingga 0,5 μm, mencegah kontaminasi mikro mencapai ruang proses atau wafer.
- Tidak ada partikel yang terlepas, memastikan jumlah partikel stabil selama penggunaan jangka panjang.
2. Stabilitas Mekanik dan Termal yang Kuat
- Desain seluruhnya terbuat dari logam tahan terhadap tekanan tinggi, suhu tinggi, dan siklus panas yang sering terjadi.
- Mempertahankan integritas mekanis dalam kondisi getaran, aliran balik, atau tekanan yang berdenyut-yang umum terjadi pada sistem distribusi gas.
- Kompatibel dengan pelacakan panas untuk saluran gas bersuhu tinggi.

3. Dapat Dibersihkan Kembali dan Dapat Diregenerasi
- Elemen filter dapat dibilas kembali, dibersihkan secara ultrasonik, atau dipanggang dalam ruang hampa, sehingga memungkinkan masa pakai yang lama dibandingkan dengan filter polimer atau keramik.
- Siklus hidup umumnya mencapai 5–10× dari filter PTFE atau PVDF sekali pakai, sehingga meminimalkan waktu henti dan total biaya kepemilikan.
4. Kompatibilitas Kimia dan Ketahanan Korosi
- 316Baja tahan karat L mempertahankan lapisan oksida pasif di lingkungan klorida, fluor, amonia, dan gas asam.
- Permukaan non-reaktif mencegah ekstraksi ion logam atau perubahan komposisi gas.
aplikasi
1. Jalur Distribusi Gas UHP
- Dipasang di selip pengiriman gas curah, lemari gas, dan panel VMB/VMP, menyaring partikel sebelum gas memasuki MFC atau alat proses.
- Digunakan dalam N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄, dan jalur gas dengan kemurnian tinggi lainnya yang menyalurkan proses penting.
2. Perlindungan Saluran Masuk Pengontrol Aliran Massa (MFC).
- Mencegah kontaminasi partikel dan keausan katup pada pengontrol aliran massa yang presisi.
- Meningkatkan stabilitas aliran jangka panjang dan konsistensi kalibrasi MFC.
3. Ruang Proses dan Saluran Masuk Gas Alat
- Memastikan pengiriman bebas partikel dan bebas kelembapan ke dalam tungku CVD, ALD, etsa, dan difusi.
- Digunakan pada lini SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃, dan TEOS yang mengutamakan kemurnian dan kualitas film.
4. Sistem Gas dan Prekursor Khusus
- Untuk gas berbasis logam‑organik atau halogen yang memerlukan kelembaman kimia dan stabilitas suhu.
- Sering ditempatkan setelah alat penguap atau bubbler untuk menangkap partikel atau tetesan yang terkondensasi.
Hubungi kami
Telp: 0917-3873009
Telepon: +86 18992731201
E-mail:zhangjixia@bjygti.com
Faks: 0917-3873009
Alamat: No. 195, Gaoxin Avenue,-Zona Pengembangan Teknologi Tinggi, Kota Baoji, Shaanxi, Cina
Whatsapp: +86 18992731201
Tag populer: Kartrid filter bubuk stainless steel 5 mikron dengan antarmuka vcr 1/2 ", Cina, pemasok, produsen, disesuaikan, penggunaan, daftar harga, untuk dijual, dalam stok, sampel gratis, bahan berpori
-
Filter Logam Titanium SinterLihat lebih> -
Pelat Berpori Sinter TitaniumLihat lebih> -
SUS 316L Powder Sintered Small Filter ElementLihat lebih> -
Elemen Ti Berpori Untuk Penutup Pelindung Sensor Suhu Dan...Lihat lebih> -
40um ss316l kartrid filter kawat logam sinteredLihat lebih> -
Elemen Filter Titanium Berpori Dengan Mur HeksagonalLihat lebih>













